西安兆福電子電子束電源產(chǎn)品介紹：

一)電源輸入輸出參數(shù)

電源輸入：三相五線 50Hz，AC380V±10% N PE

電源輸出：

1) DC -62KV 50mA

2) DC -2000V 25mA

3) DC 10V 20A

高壓電源額定功率：3KW

二)輸出部分參數(shù)描述

高壓輸出部分

1. 逆變頻率：20KHz以上

2. 輸出直流高壓：0～-62KV 連續(xù)可調(diào)

3. 輸出電流：0-51mA

4. 高壓控制調(diào)節(jié)：用戶給定DC 0~10V電壓信號(hào)對(duì)應(yīng) 0~-60KV

5. 高壓檢測(cè)：電源具有高壓實(shí)際值測(cè)量通道，輸出0~10V 信號(hào)，此信號(hào)對(duì)應(yīng) 0~-62KV，輸入到用戶作為高壓的反饋信號(hào)。

6. 線調(diào)整率：輸入電壓變化10%，高壓輸出變化小于0.1%

7. 靜態(tài)負(fù)載調(diào)整率：負(fù)載電流0-51mA之間，高壓輸出變化小于0.1%

8. 動(dòng)態(tài)負(fù)載調(diào)整率：負(fù)載電流0-51mA階躍變化，高壓輸出跌落≤360V(0.6%)，并在1-5mS內(nèi)恢復(fù)至設(shè)定電壓

9. 輸出電壓紋波：≤0.1%

10. 瞬態(tài)響應(yīng)：在短路或放電后，50ms內(nèi)恢復(fù)至設(shè)定電壓

11. 溫漂系數(shù)：50ppm/℃

12. 時(shí)漂：小于0.01%

柵偏電壓輸出部分

1. 逆變頻率：≥20KHz。

2. 輸出直流電壓 DC0～-2000V，25mA，電壓連續(xù)可調(diào)

3. 柵偏控制調(diào)節(jié)：對(duì)應(yīng)束流0-51mA閉環(huán)控制時(shí)：自動(dòng)調(diào)節(jié)柵偏壓達(dá)到穩(wěn)定束流的目的，用戶輸入信號(hào)電壓 DC 0~3V，

4. 束流檢測(cè)：電源具有束流實(shí)際值測(cè)量通道，輸出 DC 0~10V 信號(hào)對(duì)應(yīng) 0~51mA，此信號(hào)輸給用戶作為束流的實(shí)際值檢測(cè)信號(hào)

5. 束流精度：閉環(huán)控制模式下，給定束流與輸出束流間偏差≤0.2%

6. 紋波系數(shù) ≤0.1%

7. 上升時(shí)間：≤5us

8. 溫漂系數(shù)：200ppm/℃

9. 時(shí)漂：小于0.1%

10. 束流鎖零控制信號(hào)，當(dāng)束流鎖零為低電平時(shí)，鎖定偏壓為較大值，當(dāng)束流鎖零為低電平時(shí)，偏壓可調(diào)節(jié)。

11. 束流給定為0V時(shí)，無漏束。

12. 束流反饋是唯一可靠的參考。

燈絲電源部分

1. 逆變頻率≥20KHz

2. 輸出直流電壓 DC 0～10V，20A 連續(xù)可調(diào)

3. 燈絲電流調(diào)節(jié)：用戶輸出信號(hào)電壓 DC 0~10V 對(duì)應(yīng)燈絲電流 DC 0~20A

4. 電源具有燈絲電流實(shí)際值測(cè)量通道，輸出 DC 0~10V 信號(hào)對(duì)應(yīng) DC0~20A，此信號(hào)送給 用戶作為電流的實(shí)際值檢測(cè)信號(hào);

5. 有燈絲故障檢測(cè)電路

6. 燈絲電壓紋波系數(shù)：≤1%

7. 燈絲電流波紋系數(shù)：≤1%

三)接口

1、 控制接口：向用戶提供詳細(xì)的控制接口說明。

2、 放電保護(hù)策略：

1) 輕微放電，即電壓跌落小于0.2%(可由用戶設(shè)置)時(shí)，高壓自行恢復(fù)不做處理;

2) 嚴(yán)重放電，即電壓跌落大于設(shè)定比例，快速關(guān)斷電源，并快速恢復(fù)，并向用戶給出高壓放電信號(hào)，使得用戶可檢測(cè)。

3、 高壓接頭：型號(hào)為CA1，C是偏壓，L和S是燈絲。

4、 電源尺寸：高壓油箱尺寸430mm*430mm*665mm(含輪),

控制部分機(jī)箱：8u標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱，深550mm